国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“光斑监测方法及系统”的专利，公开号CN 121054517 A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本申请提供一种光斑监测方法及系统，包括：采用测试晶圆进行退火，预热激光器；在当前退火时长为预置时长时，获取激光光斑的光斑图像；基于光斑图像确定激光光斑的有效长度和均一性值；如果有效长度属于预置长度范围，并且均一性值属于预置亮度浮动范围，则生成监测完成信号，采用产品晶圆进行退火。本申请提供的光斑监测方法及系统，在预热激光器过程中，在对产品晶圆进行退火之前，及时监控激光稳定性，在激光光斑正常情况下采样产品晶圆进行退火，能够提高激光退火过程的产品晶圆的良率。

　　天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目22次，财产线条，此外企业还拥有行政许可125个。

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