金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯上微装科技股份有限公司申请一项名为“污染物抽排装置及激光退火设备”的专利，公开号CN120438829A，申请日期为2024年01月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种污染物抽排装置及激光退火设备，该装置通过内风道和多个内抽排口的配合可将待退火工件所处的承载装置的上表面的污染物抽排至外界，通过外风道和多个外抽排口可将待退火工件所处的承载装置的四周区域内的污染物抽排至外界，如此，产生的挥发性污染物和颗粒污染物被内风口和外抽排风口形成的风幕捕集，污染物捕集的流动路径和过程清晰，可从根源上减少退火工艺中的污染物含量，避免污染物的后续扩散现象，本发明的污染物抽排装置整套结构简单，防污效果显著。并且，中空的透光窗能够保证激光退火设备的激光顺利通过并入射至待退火工件需要退火的区域，以保证激光退火设备退火工序的正常实现。

　　天眼查资料显示，上海芯上微装科技股份有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5843.8446万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯上微装科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可19个。

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